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學術(shù)預告:等離子體納米涂層制備技術(shù)及應用

 報告題目:等離子體納米涂層制備技術(shù)及應用

 報告時間:2023年9月21日(星期四)14:00-16:00

 報告地點:材料與冶金學院523會議室

 主辦單位:材料與冶金學院

 報 告 人:周艷文

 報告人簡介:周艷文,1966年4月出生,英國索爾福德大學表面工程專業(yè)博士,2005年入職材料與冶金學院,教授。主要從事微、納材料的功能化及表面改性研究。先后獲得國家自然科學基金資助6項,遼寧省優(yōu)秀人才項目、遼寧省科技廳重點實驗室項目等多項科研項目,并帶領(lǐng)團隊獲批4項國家自然科學基金。在《Applied Surface Science》《Journal of Alloys and Compounds》《Surface & Coatings Technology》等期刊上共發(fā)表SCI等檢索論文100余篇,發(fā)明專利10余項。

 報告內(nèi)容簡介:磁控濺射技術(shù)是一種利用電磁場來控制真空腔體內(nèi)氣體“異常輝光放電”中離子、電子的運動軌跡及分布狀況的濺射鍍膜的物理氣相沉積技術(shù),其具有沉積溫度低、沉積速度快、所沉積的薄膜均勻性好,成分接近靶材成分等眾多優(yōu)點。等離子體增強磁控濺射技術(shù)(PEMS)引入熱絲作為電子源,能夠增加磁控濺射系統(tǒng)中的等離子體密度,從而控制沉積薄膜或涂層的結(jié)構(gòu),報告人以等離子體密度為切入點,介紹等離子體密度對于功能涂層的結(jié)構(gòu)、性能的影響,并展示等離子體納米涂層的應用成果。


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